共基面结构论文

共基面二维扫描同步计量工作台研制
论文摘要精密二维扫描工作台是三维表面形貌测量仪器的重要基础。研制定位精度高、运动面平面度高、运行平稳的高性能精密二维扫描工作台对于提高三维表面形貌仪器性能具有重大意义。为此,本...