高线速度论文

本文主要研究内容作者靳霄曦,徐伟,魏汝省,王英民（2019）在《高线速下碳化硅单晶的快速平坦化切割》一文中研究指出：碳化硅单晶材料硬度很高,用传统的切片方式难以加工、效率低下,...