高介电材料论文

CaCu3Ti4O12型晶体结构氧化物陶瓷材料的高介电物性研究
论文摘要介电材料是一类利用材料的介电性质来制造电子器件的电子材料,被广泛应用在电容器、谐振器、滤波器、存储器等重要电子器件方面。随着电子器件向高性能化和尺寸微型化方向的发展,高...
高k-ZrO2基薄膜生长行为及其稳定性的研究
论文摘要利用高k介电薄膜材料替代传统的SiO2栅介质层是满足发展亚0.1μm以下尺寸的超大规模集成电路的要求,是目前微电子领域的研究热点之一。ZrO2薄膜因其具有合适的介电常数...