反应气体流论文

阴极真空电弧技术制备氮化锆、氧化锆薄膜的研究
论文摘要本文主要研究应用阴极真空电弧沉积技术在硅片上沉积纳米晶氮化锆、在硅片和石英玻璃上沉积氧化锆薄膜。在研究中,主要探讨分别改变反应气体流量和基底偏压对氮化钛、氮化锆薄膜的组...