放电等离子体论文

放电等离子体协同催化剂处理甲硫醚及其产物分析
论文摘要恶臭污染严重影响到人们的身心健康,作为一种新的公害越来越来引起人们的重视,本文针对卷烟厂烟叶烘烤废气的处理,选择其中比较有代表性的甲硫醚作为处理对象,采用放电等离子体—...
放电等离子体极紫外光谱测量及分析
论文摘要极紫外（ExtremeUltraviolet,EUV）光刻技术被认为是下一代最有前途的光刻技术之一,而其中的光源被认为是影响EUV光刻技术大规模工业化生产的首要问题。放...
AC+DC气液两相放电废水处理电源的研究
论文摘要经济持续发展与水污染形势日益严峻的矛盾,对废水处理系统无二次污染和高效运行的要求,放电等离子体废气处理技术的飞速发展和工业化,放电处理难降解废水的成功等等,要求加速推进...
SiCOH低k薄膜的ECR等离子体沉积与介电性能研究
论文摘要微电子器件在快速发展，器件的性能不断完善，集成度不断提高，预计到2010年后进入45nm以下线宽的纳电子器件时代。由于高性能芯片上器件密度和连线密度的增加，器件尺寸和线...