多晶膜论文

MPCVD法制备多晶和单晶金刚石及性质研究
论文摘要本文采用MPCVD（MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition）方法,制备多晶金刚石膜和单晶金刚石。在硅衬底上沉积高质量的自支撑透明金...