低能溅射论文

贵金属表面低能沉积的分子动力学模拟
论文摘要低能沉积薄膜生长的微观机制直接影响着薄膜的生长模式、表面形貌和微观结构,进而决定着薄膜材料的力学、电学和磁学等物理性能,从原子尺度上去研究薄膜生长过程和微观机制,对于解...