电子辅助化学气相沉积论文

电子辅助化学气相沉积法（EACVD）制备纳米金刚石薄膜及其光电性能的研究
论文摘要本工作提出了采用正偏压,即EACVD方法,在α-SiC陶瓷和（100）Si晶片抛光衬底表面上沉积纳米金刚石薄膜。研究了气压、连续正偏压和正偏压增强成核对沉积金刚石薄膜的...