等离子体参数论文

论文摘要为了克服电子束蒸镀技术存在的不足,提高蒸镀薄膜与基体的膜基结合力,从而扩大电子束蒸镀技术的应用范围。本文在实验室原有电子束蒸镀设备的基础上,对其进行改造添加了射频线圈。...

本文主要研究内容作者韩明月,李刘合,李花,艾猛,罗阳（2019）在《高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)等离子体放电时空特性研究进展》一文中研究指出：高功率脉冲磁控溅射(HiPI...

本文主要研究内容作者张改玲,滑跃,郝泽宇,任春生（2019）在《13.56MHz/2MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究》一文中研究指出：通过Langmuir双探针和发射光...