本文主要研究内容
作者张改玲,滑跃,郝泽宇,任春生（2019）在《13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究》一文中研究指出：通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要提升了电子密度,低频放电中则主要提升了电子温度.固定气压为10 Pa,分别由高频和低频驱动时,电子密度的径向分布均为"凸型".而电子温度的分布差异比较明显,高频驱动时,电子温度在腔室中心较为平坦,在边缘略有上升;低频驱动时,电子温度随径向距离的增加而逐渐下降.为了进一步分析造成这种差异的原因,在相同放电条件下采集了氩等离子体的发射光谱图,利用分支比法计算了亚稳态粒子的数密度,发现电子温度的径向分布始终与亚稳态粒子的径向分布相反.继续升高气压到100 Pa,发现不论高频还是低频放电,电子密度的径向分布均从"凸型"转变为"马鞍形",较低气压时电子密度的均匀性有了一定的提升,但低频的均匀性更好.
Abstract
tong guo Langmuirshuang tan zhen he fa she guang pu zhen duan fang fa ,dui bi yan jiu le qu dong pin lv wei 13.56 MHzhe 2 MHzzhu zhuang gan xing ou ge deng li zi ti zhong dian zi mi du he dian zi wen du de jing xiang fen bu gui lv .jie guo biao ming :zai gao pin he di pin fang dian zhong ,shu ru gong lv de zeng jia dui deng li zi ti can shu chan sheng le bu tong de ying xiang ,gao pin fang dian zhong zhu yao di sheng le dian zi mi du ,di pin fang dian zhong ze zhu yao di sheng le dian zi wen du .gu ding qi ya wei 10 Pa,fen bie you gao pin he di pin qu dong shi ,dian zi mi du de jing xiang fen bu jun wei "tu xing ".er dian zi wen du de fen bu cha yi bi jiao ming xian ,gao pin qu dong shi ,dian zi wen du zai qiang shi zhong xin jiao wei ping tan ,zai bian yuan lve you shang sheng ;di pin qu dong shi ,dian zi wen du sui jing xiang ju li de zeng jia er zhu jian xia jiang .wei le jin yi bu fen xi zao cheng zhe chong cha yi de yuan yin ,zai xiang tong fang dian tiao jian xia cai ji le ya deng li zi ti de fa she guang pu tu ,li yong fen zhi bi fa ji suan le ya wen tai li zi de shu mi du ,fa xian dian zi wen du de jing xiang fen bu shi zhong yu ya wen tai li zi de jing xiang fen bu xiang fan .ji xu sheng gao qi ya dao 100 Pa,fa xian bu lun gao pin hai shi di pin fang dian ,dian zi mi du de jing xiang fen bu jun cong "tu xing "zhuai bian wei "ma an xing ",jiao di qi ya shi dian zi mi du de jun yun xing you le yi ding de di sheng ,dan di pin de jun yun xing geng hao .
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自物理学报的张改玲,滑跃,郝泽宇,任春生，发表于刊物物理学报2019年10期论文，是一篇关于感性耦合等离子体论文,双探针论文,发射光谱论文,等离子体参数论文,物理学报2019年10期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自物理学报2019年10期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：感性耦合等离子体论文; 双探针论文; 发射光谱论文; 等离子体参数论文; 物理学报2019年10期论文;