等离子蚀刻论文

1.3μmGeSi/Si异质结光波导耦合器的设计与研究
论文摘要在电子系统中为了实现信息传输的大规模化和高速化:一是采用高速电子器件;二是采用光波导连接芯片。GeSi/Si异质结在这两方面的应用中都有明显的优势,本文论证了用GeSi...