磁过滤真空阴极弧论文

论文摘要本文以磁过滤真空阴极弧（FilteredCathodicVacuumArc）技术制备的DLC薄膜为研究对象。通过改变衬底偏压和沉积时间研究磁头表面不同厚度DLC薄膜的结...