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  • 射频SiH4/C2H4/Ar放电产生尘埃等离子体及其诊断研究

    射频SiH4/C2H4/Ar放电产生尘埃等离子体及其诊断研究

    论文摘要本文在射频容性耦合等离子体放电基础上,采用实验观测,探针和光谱诊断等研究方法,对尘埃等离子体进行了多方面的研究。本文工作主要包括以下一些内容:第一章介绍了尘埃等离子体的...
  • 尘埃等离子体中有两种尘埃粒子时的空洞形成

    尘埃等离子体中有两种尘埃粒子时的空洞形成

    论文摘要带电的尘埃粒子广泛存在于宇宙空间、实验室的等离子体装置中和材料等离子体加工等环境中。近年来,人们认识到尘埃粒子是影响半导体集成电路加工质量的关键问题,尘埃与等离子体的相...
  • 电负性尘埃等离子体中尘埃颗粒的振荡、晶格波和稳态尘埃空洞

    电负性尘埃等离子体中尘埃颗粒的振荡、晶格波和稳态尘埃空洞

    论文摘要尘埃等离子体又称“复杂等离子体”,通常等离子体是由电子、离子和中性粒子组成,而尘埃等离子体除了上述的气体成分之外,还包含固体微粒。尘埃等离子体广泛存在于星际空间、行星环...
  • 尘埃等离子体中尘埃空洞形成的非线性理论

    尘埃等离子体中尘埃空洞形成的非线性理论

    论文摘要尘埃等离子体广泛存在于空间等离子体、实验等离子体和高温核聚变等离子体中。在实验和应用中,人们发现了尘埃空洞。为了弄清尘埃等离子体中尘埃空洞形成的机理,人们用各种方法对其...
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