超精密隔振系统论文

隔振系统的测试、建模与参数辨识
论文摘要随着光学仪器等超精密仪器的不断发展,外界微小的扰动已成为制约精密仪器设备特征尺寸不断减小的重要因素。针对超精密仪器设备隔振要求,本课题是在国家科技重大专项的框架范围内,...