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利用电子束与深紫外光学曝光技术制备悬空掩膜的工艺研究
论文摘要量子计算已成为国际热点研究课题,超导约瑟夫森结是实现超导量子比特的基本组件。我们在超导量子比特基本组件——约瑟夫森结的制备工艺及其特性方面做了深入细致的研究工作,采用悬...