半导体蚀刻论文

论文摘要薄膜材料的制备及其性能研究是材料化学和材料物理领域的重要研究课题之一。氟负离子在半导体蚀刻、薄膜材料的制备及其改性、大气化学、生物化学和负离子质谱技术等领域具有重要的应...