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关于深亚微米器件GOI及NBTI可靠性问题的研究
论文摘要随着技术的不断发展,电路的不断复杂,工艺制程的不断进步,从过去的0.5um,0.6um到后来的0.35um,0.15um,0.13um,再到如今的90nm,65nm甚至...