阿贝误差论文

基于阿贝补偿原理的光栅电感组合轮廓测量系统研究
论文摘要本文针对复杂工件表面轮廓的测量方法一直难以同时满足高精度和大量程的测量要求的现状,结合教育部新世纪优秀人才支持计划项目（项目编号:NCET-07-0262）“正交光栅多...
工件台激光干涉仪测量误差模型研究
论文摘要多自由度精密运动台是集成电路设备、精密加工机床等的关键部件,具有速度大、精度高的特性,其运动精度直接影响整机的性能,因此多自由度精密运动台的高速高精运动控制十分关键。实...