微细论文

复合材料SiCp/Al微细电火花加工试验研究
论文摘要相对于传统的机械加工过程,微细特种加工方法没有宏观的切削力作用,在微小尺度零件的加工中有着不可替代的优越性。而相对于光刻、电铸和注塑(LIGA)等微电子机械技术而言,微...