导读:本文包含了真空阴极电弧沉积论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:CrNi3MoVA钢,DLC膜,硬度,弹性模量
真空阴极电弧沉积论文文献综述
郭策安,孔凡亮,任青松,樊永军,陈梨[1]（2019）在《CrNi3MoVA钢表面过滤阴极真空电弧沉积DLC膜的性能》一文中研究指出为提高特种机械零件的耐磨性和耐腐蚀性,采用过滤阴极真空电弧技术在其表面沉积了一层厚度约为2μm的类金刚石碳(DLC)膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪、摩擦磨损试验机和电化学工作站分别测试了CrNi3MoVA钢与施加DLC膜的CrNi3MoVA钢(以下简称DLC膜)的微观结构、纳米力学性能、摩擦磨损性能及耐腐蚀性。结果表明DLC膜的硬度较裸钢提高了65%,弹性模量降低了约32%;裸钢稳定的摩擦系数为0.65～0.75,而DLC膜稳定的摩擦系数仅为0.10～0.11;裸钢的磨损机制主要为磨粒磨损和塑性流动,而DLC膜的磨损机制主要为剥层磨损;DLC膜的腐蚀电流密度较裸钢的腐蚀电流密度低了两个数量级,自腐蚀电位正移了逾0.3V,电化学反应阻抗高了3个数量级。DLC膜能够极大地提高裸钢的耐磨性和耐腐蚀性。(本文来源于《功能材料》期刊2019年02期）
史学伟,廖斌,张荟星,陈一鸣,吴先映[2]（2014）在《磁过滤真空电弧沉积系统中阴极表面磁场分析研究》一文中研究指出在有限元模型基础上,运用ANSYS软件对阴极真空电弧沉积系统中阴极表面磁场分布以及传输导管内部磁场进行了模拟计算,研究了阴极表面附近磁场分布对于电弧稳定性和等离子体输运效率的影响.计算和试验结果表明,调节阴极后部的永磁铁至合理位置以及在阳极筒外侧加聚焦线圈两项措施均能够改变阴极表面磁场分布.而对阴极表面磁场的合理优化有利于电弧稳定,并能极大地提高等离子体传输效率,对于提高沉积效率具有重要意义.(本文来源于《北京师范大学学报(自然科学版)》期刊2014年03期）
李洪波,孙丽丽,吴国松,代伟,周毅[3]（2010）在《新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算》一文中研究指出本文用ANSYS软件对新型的45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统中的磁场分布进行了模拟计算,并结合等离子体传输和电弧源弧斑运行稳定性进行了分析。在建立的数学模型基础上,分别研究了磁过滤弯管磁场空间分布对拟定的不同出射方向上的111个碳离子束的传输行为影响,和外加永久磁体对电弧源附近磁场空间分布的影响。结果表明,在优化的磁过滤弯管磁场空间分布情况下,111个碳离子束流可全部通过磁过滤弯管,并高效传输到基材表面。当电弧靶源后部的外加永久磁体磁化方向与弯管上的磁化方向相反,且磁矫顽力大于600 kA/m时,阴极靶弧源附近的磁力线空间分布更利于控制阴极弧斑长时间运行稳定性,这对延长弧斑寿命、提高等离子体的沉积效率、提高靶材表面刻蚀均匀性和获得高性能的ta-C薄膜生长具有重要理论意义。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2010年06期）
刘毅,林晓东,朱道云,陈弟虎,何振辉[4]（2007）在《阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究》一文中研究指出采用阴极真空电弧离子沉积技术在硅基片上制备出了MgO薄膜。利用椭圆偏振光谱、原子力显微镜及扫描电子显微镜分别对不同氧流量下制备的MgO薄膜的厚度,光学常数,表面粗糙度及表面形貌进行了分析,并对椭圆偏振光谱的光学粗糙度结果和原子力显微镜的均方根粗糙度结果进行了对比和分析。结果表明,不同氧流量下制备出的MgO薄膜,表面粗糙度及薄膜颗粒随着氧流量的增加而增大。椭偏光谱与AFM得到的表面粗糙度存在线性一致关系,表明椭偏光谱可作为一种很好的无损分析手段。(本文来源于《中山大学学报(自然科学版)》期刊2007年01期）
[5]（2005）在《真空阴极电弧沉积类金刚石薄膜及其应用》一文中研究指出本研究成功地采用真空阴极电弧沉积出优质类金刚石薄膜,本成果解决了真空石墨电弧长时间"稳弧"的技术难题,同时,采用过渡层方法提高了膜/基结合力,奠定了类金刚石(本文来源于《广东省材料研究学会部分单位会员成果汇编》期刊2005-09-01）
李敬财[6]（2004）在《真空阴极电弧及等离子体化学气相法沉积类金刚石碳膜的研究》一文中研究指出用真空阴极电弧(VAC)法和等离子体化学气相(PCVD)沉积法制备了类金刚石碳(DLC)膜，研究了通过不同制备方法和工艺参数制备DLC膜的表面形貌、结构和硬度。采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行了观察；采用X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)对DLC膜结构进行了检测，用光电子能谱(XPS)对薄膜SP~3和SP~2含量进行了测试；采用了纳米硬度计检测了薄膜的硬度。研究结果表明： 采用VAC法入射粒子的能量和入射粒子的密度都存在一个阈值，当弧流为45A时，最佳负偏压值为-175V，此时DLC膜中最高SP~3键含量为49.86％；当弧流为65A时，最佳负偏压值为-100V，此时DLC膜中最高SP~3键含量为56.32％，纳米硬度值为17.1±7.72GPa；当负偏压为-100V时，最佳弧流为65A。仅当通过调节入射粒子能量和入射粒子的密度制备DLC膜时，二者存在一个最佳搭配值，在这个最佳搭配值条件下制备的DLC膜中SP~3含量为最高。 采用PCVD法制备DLC膜时，随着入射粒子的能量和入射粒子的密度的增加所制备DLC膜中SP~3含量也随之增加，在加速电压和离子束流同时达到了设备的额定值时，DLC膜中SP~3键含量最高为31.95％，采用Bulat—6离子源制备DLC膜时，由于该离子源的功率较低，不能进一步通过提高其加速电压和离子束流来提高DLC膜中SP~3含量。 通过对DLC膜的表面形貌的观察发现，采用VAC法制备的DLC膜表面有大的石墨颗粒的存在，严重的影响了薄膜的质量，使得薄膜表面硬度严重不均，有的相差达±7GPa，而采用PCVD法制备的DLC膜表面十分光滑，表面粗糙度Ra为0.34nm。 分析了石墨靶的起弧性质和起弧稳定性，选择了高纯、高强的石墨做为靶材；通过实验证实了Bulat—6离子源产生等离子体呈空间管状分布，大部分粒子流以直线的形式运动。广东工业大学工学硕士学位论文 研究了通入不同流量NZ对VAC法制备的DLC膜的影响。当通入NZ为24.Oml/min时，薄膜硬度降低(由原来的16.67 Gpa降低为9.57 Gpa)，而当通入NZ为58.2ml/min时，薄膜硬度又增加为18.6lGPa。 研究了通入不同流量CH4对TIC过渡层的影响，研究发现在本文试验的参数范围内，随着CH。的流量的增加，C和Ti的原子数比值增加，DLC膜与基体的结合力越好。(本文来源于《广东工业大学》期刊2004-05-01）
朱霞高,王成彪[7]（2002）在《真空阴极电弧沉积TiB_2薄膜的组织结构及其摩擦学性能的研究》一文中研究指出用TiB2作阴极靶,采用优化的真空阴极电弧沉积工艺制备的TiB2薄膜是由TiB2, Ti2B5,TiB和Ti组成的多相结构.薄膜的摩擦磨损试验表明:TiB2薄膜的摩擦系数为 0.139,膜层寿命超过60 min,是TiN和(Ti,A1)N 膜层的2倍.(本文来源于《广东有色金属学报》期刊2002年02期）
付志强,蔡育平,袁镇海,林松盛[8]（2001）在《真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究》一文中研究指出为了提高TiN涂层刀具的耐磨性 ,采用钛铝合金靶 ,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究 ,并试验了 (Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。结果表明 :(Ti ,Al)N涂层硬度高达HV0 .1,15370 0 ,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显着提高。(本文来源于《机械工程材料》期刊2001年08期）
袁镇海,付志强,邓其森,林松盛,郑健红[9]（2001）在《真空阴极电弧沉积碳氮膜的研究》一文中研究指出以氮气为反应气体 ,用真空阴极电弧沉积法沉积了CNx膜 ,并利用金相显微镜、Auger电子谱仪、FTIR及XRD对其进了分析。结果表明 :真空阴极电弧沉积法可以制备含N量高、具有C≡N键和C—N键并含有晶态C3N4的CNx膜(本文来源于《真空科学与技术》期刊2001年04期）
杨喜昆,钱天才[10]（1999）在《磁过滤真空阴极电弧沉积无定形金刚石碳膜》一文中研究指出应用磁过滤真空阴极电弧离子沉积技术，以石墨为阴极靶材，在基片上沉积碳膜．利用光电子能谱，喇曼谱和扫描电镜对薄膜的结构形貌进行分析．结果表明：碳膜由具有金刚石特征ＳＰ３和非晶碳特征ＳＰ２的碳组成，并称之为无定形金刚石碳膜ａＤ．(本文来源于《云南大学学报(自然科学版)》期刊1999年S1期）
真空阴极电弧沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
在有限元模型基础上,运用ANSYS软件对阴极真空电弧沉积系统中阴极表面磁场分布以及传输导管内部磁场进行了模拟计算,研究了阴极表面附近磁场分布对于电弧稳定性和等离子体输运效率的影响.计算和试验结果表明,调节阴极后部的永磁铁至合理位置以及在阳极筒外侧加聚焦线圈两项措施均能够改变阴极表面磁场分布.而对阴极表面磁场的合理优化有利于电弧稳定,并能极大地提高等离子体传输效率,对于提高沉积效率具有重要意义.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
真空阴极电弧沉积论文参考文献
[1].郭策安,孔凡亮,任青松,樊永军,陈梨.CrNi3MoVA钢表面过滤阴极真空电弧沉积DLC膜的性能[J].功能材料.2019
[2].史学伟,廖斌,张荟星,陈一鸣,吴先映.磁过滤真空电弧沉积系统中阴极表面磁场分析研究[J].北京师范大学学报(自然科学版).2014
[3].李洪波,孙丽丽,吴国松,代伟,周毅.新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算[J].真空科学与技术学报.2010
[4].刘毅,林晓东,朱道云,陈弟虎,何振辉.阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究[J].中山大学学报(自然科学版).2007
[5]..真空阴极电弧沉积类金刚石薄膜及其应用[C].广东省材料研究学会部分单位会员成果汇编.2005
[6].李敬财.真空阴极电弧及等离子体化学气相法沉积类金刚石碳膜的研究[D].广东工业大学.2004
[7].朱霞高,王成彪.真空阴极电弧沉积TiB_2薄膜的组织结构及其摩擦学性能的研究[J].广东有色金属学报.2002
[8].付志强,蔡育平,袁镇海,林松盛.真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究[J].机械工程材料.2001
[9].袁镇海,付志强,邓其森,林松盛,郑健红.真空阴极电弧沉积碳氮膜的研究[J].真空科学与技术.2001
[10].杨喜昆,钱天才.磁过滤真空阴极电弧沉积无定形金刚石碳膜[J].云南大学学报(自然科学版).1999
标签：CrNi3MoVA钢; DLC膜; 硬度; 弹性模量;