本文主要研究内容
作者许晓青,李锁印,赵琳,梁法国,孙虎（2019）在《纳米线距标准样片的研制和表征》一文中研究指出：论述了线距标准在扫描电子显微镜(SEM)类测量仪器校准中的重要性和作为标准物质的基本要求,指出了纳米线距标准物质的研制和表征在纳米量值溯源体系中的重要作用。通过材料选择、结构设计和制作工艺优化研制出了线距标称值为100 nm的纳米线距标准样片。利用光学显微镜对样片的表面质量进行初检,利用CD-SEM对样片的表征考核区域进行了均匀性和长期稳定性的测量以及对线距尺寸进行定值,同时对测量结果进行计算分析。实验结果表明,研制的201710001纳米线距标准样片的对比度良好、线条平直,均匀性和稳定性均小于2 nm,且线距尺寸具有溯源性,可作为校准SEM类测量仪器图像放大倍率和图形畸变的标准物质使用。
Abstract
lun shu le xian ju biao zhun zai sao miao dian zi xian wei jing (SEM)lei ce liang yi qi jiao zhun zhong de chong yao xing he zuo wei biao zhun wu zhi de ji ben yao qiu ,zhi chu le na mi xian ju biao zhun wu zhi de yan zhi he biao zheng zai na mi liang zhi su yuan ti ji zhong de chong yao zuo yong 。tong guo cai liao shua ze 、jie gou she ji he zhi zuo gong yi you hua yan zhi chu le xian ju biao chen zhi wei 100 nmde na mi xian ju biao zhun yang pian 。li yong guang xue xian wei jing dui yang pian de biao mian zhi liang jin hang chu jian ,li yong CD-SEMdui yang pian de biao zheng kao he ou yu jin hang le jun yun xing he chang ji wen ding xing de ce liang yi ji dui xian ju che cun jin hang ding zhi ,tong shi dui ce liang jie guo jin hang ji suan fen xi 。shi yan jie guo biao ming ,yan zhi de 201710001na mi xian ju biao zhun yang pian de dui bi du liang hao 、xian tiao ping zhi ,jun yun xing he wen ding xing jun xiao yu 2 nm,ju xian ju che cun ju you su yuan xing ,ke zuo wei jiao zhun SEMlei ce liang yi qi tu xiang fang da bei lv he tu xing ji bian de biao zhun wu zhi shi yong 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自微纳电子技术的许晓青,李锁印,赵琳,梁法国,孙虎，发表于刊物微纳电子技术2019年09期论文，是一篇关于纳米线距论文,制作工艺论文,质量参数论文,均匀性论文,稳定性论文,微纳电子技术2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自微纳电子技术2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。