柱面微透镜阵列论文

基于移动掩模技术的微透镜阵列的制作及其面形控制
论文摘要微透镜阵列在光束整形、光束准直等方面有着非常重要的作用,制作微透镜阵列的方法也有多种。本文针对柱面微透镜阵列的制作,在研究掩模移动光刻原理及方法的基础上,研究了数字掩模...