中阶梯光栅论文

延伸角锥刀刻划衍射光栅槽形控制研究
论文摘要机械刻划光栅过程是一个十分复杂的过程,是由超精密金刚石刻划刀在镀有铝膜的玻璃、紫铜、无氧铜或不锈钢等毛坯上进行挤压、抛光,使镀膜材料发生弹塑性变形从而形成槽形的过程。本...