织构择优取向论文

论文摘要在过去几十年中,超硬薄膜材料由于在工业方面的广泛运用而得到迅速发展。对薄膜材料的研究也逐渐深入,从最初的一元金刚石薄膜,到二元硬质氮化物/碳化物,再到三元Me-X-N（...