振膜论文

静电柔性振膜型微泵的理论分析和相关键合工艺研究
论文摘要微泵是微流体系统中的重要部件,尤其是具有高压比的微泵在微电子散热等微型散热领域有着广阔的应用前景。但现有的MEMS技术和工艺,制造高压比的微泵还有许多困难,且流体在其中...