原子沉积论文

论文摘要近些年来,随着新型纳米电子器件、新型纳米催化剂等技术的飞速发展,以及一些新的实验技术、手段的采用,使得贵金属粒子在不同衬底上结构的实验和理论研究越来越受到研究者们的关注...