圆点缺陷论文

晶圆制造过程中光敏型聚酰亚胺的应用及制程改良
论文摘要本研究工作主要围绕着光敏型聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料在半导体晶圆制造过程中的应用进行展开,具体讨论了其应用机理,商品化后在晶圆制造过程中的应用制程,讨...