有机金属化学气相沉积论文

适用于日盲紫外探测器的高Al组分n型AlGaN的生长
论文摘要利用有机金属化学气相沉积（MOCVD）的方法,在高质量的铝氮（AlN）模板和铝氮/铝镓氮超晶格（AlN/AlGaNSLs）上,通过改变[TMA/（TMa+TMG）]的流...
2°GaAs衬底生长高质量GaP外延层的研究
论文摘要本论文主要讨论2°GaAs衬底如何生长高质量GaP外延层。研究了GaP在GaAs衬底上的MOCVD生长和性质表征,主要包括GaP作为电流扩展层存在的问题、GaP生长温度...