严格耦合波分析论文

论文摘要硅纳米线（SiliconNanowires,SiNWs）由于其独特的光学、电学和热学等性质最近引起了广泛的关注。尤其在光伏应用方面SiNWs阵列被认为是很有希望实现高效...

论文摘要三维光存储能将光存储密度提高几个数量级。实现三维光存储技术的主要困难之一就是在读取信息时,如何有效地消除相邻数据层之间的相互串扰。本文提出了一种基于共焦显微镜光学分层技...

论文摘要现代光刻中为了提高系统的分辨率,采用了各种分辨率增强技术:移相掩模技术、离轴照明、光学临近效应校正等。这些技术必然带来数值孔径的提高、光刻关键尺寸的减小、掩模厚度的增加...