悬浮型薄膜谐振器论文

论文摘要SOI（Silicon-on-Insulator）材料,即绝缘体上的硅材料,被国际上公认为“二十一世纪硅集成电路技术”的基础。它能突破体硅材料的诸多限制,在航天领域、光...