谐振响应论文

用于微位移测量的石英晶体电容传感器
论文摘要微位移测距广泛应用于多个领域,如精密测量,精密定位,微细加工,微电子制造等。用于微位移测量的传感器包括电感式,光学式,电容式等,均有各自的优缺点。其中,电容微位移传感器...