显微干涉论文

偏振相移显微干涉超精表面形貌测量研究
论文摘要表面形貌是影响产品零部件功能特性的重要特征。随着现代光学、光电子信息技术以及航空航天技术等的发展,表面形貌超精密测量与分析评价,面临广泛需求。本文提出了将偏振相移（Po...