相移干涉法论文

论文摘要干涉显微法是一种基于光学干涉原理的表面形貌测量方法,具有测量速度快、精度高、非接触的优点,主要用于MEMS等基于IC平面工艺制造的微纳结构表面形貌及其运动的测量。本文通...

论文摘要MEMS力学特性测试及可靠性分析在MEMS的研发和产业化过程中具有极为重要的意义,而力学特性测试又是进行可靠性分析的基础。本论文在调研和分析了MEMS力学特性测试技术及...