无掩膜腐蚀论文

基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究
论文摘要自从20世纪80年代以来，原子力显微镜（AtomicForceMicroscope，AFM）已成为表征材料微区表面形貌的有力研究工具。对力敏感的易弯曲的悬臂梁上的针尖对...