微纳深沟槽结构论文

基于模型的微纳深沟槽结构红外反射谱测量方法研究
论文摘要在微电子和微机电系统设计与制造工艺中,目前普遍采用了高深宽比的深沟槽结构。随着沟槽尺寸不断缩小且沟槽剖面形貌更为复杂,监测沟槽深度相关的几何特征参数对于保证工艺控制已变...