微摩擦学论文

DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究
论文摘要摩擦、磨损和粘附问题已经成为影响微机电系统（MicroelectromechanicalSystems,MEMS）性能和可靠性的主要因素。微构件材料表面改性被认为是改善...