微操纵平台论文

论文摘要为了满足微纳技术和生物医学技术对微操纵技术的强烈需求,本文开展基于压电驱动的多自由度微操纵平台及其测控技术的研究。完成了五自由度微操纵平台机械本体的设计,并对压电陶瓷迟...