碳氟等离子体论文

论文题目:感应耦合放电的碳氟等离子体行为及碳氟薄膜生长机理论文类型:博士论文论文专业:凝聚态物理作者:黄松导师:宁兆元关键词:感应耦合放电,碳氟等离子体,碳氟薄膜文献来源:苏州...