钽薄膜论文

论文摘要金属钽具有高熔点、耐蚀性强、导电性好等优异性能,因此被广泛应用于航天、电子、汽车、军事、化工等领域。磁控溅射是一种常用的钽膜沉积技术,但其存在靶材利用率不高这一问题,对...