四极质谱计论文

本文主要研究内容作者吴镇沅（2019）在《TRIZ理论在真空热处理测量装置研究中的应用》一文中研究指出：在真空热处理测量装置中,传统的四极质谱计由于结构缺陷存在残余气体检测不充分的问题,而标准真空计和被校真空计之间使用的T型三通同样由于结构问题存在真空度检测效率低的问题,导致大容量真空炉的真空度和残...