石墨靶材论文

反应磁控溅射法制备Ti（C，N）镀层的组织结构与性能研究
论文摘要本文采用反应磁控溅射技术并选择石墨靶材作为镀层生长中所需的碳源,制备了一系列碳含量不同的Ti（C,N）镀层。使用X射线衍射、扫描电子显微镜及透射电子显微镜、X射线光电子...