湿法各向异性刻蚀论文

利用天然氧化层掩模的真空紫外硅闪耀光栅的湿法刻蚀制作
论文摘要本文首先概括了闪耀光栅的历史,特点与分类;介绍了制作非对称锯齿形闪耀光栅的各种方法,突出介绍了近些年出现的新技术、新工艺和一些振奋人心的成果;着重介绍了基于硅各向异性刻...