射频反应溅射论文

透明导电薄膜CdIn2O4的研究和高速光电探测器频响的测量
论文摘要(一)透明导电薄膜CdIn2O4薄膜光电特性的研究采用射频反应溅射Cd-In靶在玻璃衬底上制备CdIn2O4（CIO）薄膜。理论上阐述了CIO薄膜的导电机理,分析了热处...