射频等离子体化学气相沉积论文

论文摘要本文主要介绍了通过射频等离子体增强化学气相沉积法,利用SiHH4和Ar作为反应气体,在不同的射频功率条件下进行气相沉积反应,制备出具有良好多晶结构的硅基发光薄膜。并对薄...

论文摘要硅锗薄膜材料具有吸收系数高、带隙窄（1.10.66eV）的优点，可大幅提高太阳光的吸收效率并拓宽光谱响应范围，从而提高太阳电池的转换效率。硅锗合金薄膜材料可用于叠层电池...