声固耦合分析论文

论文摘要随着MEMS技术在生物医学工程领域的广泛应用,微流体驱动与控制技术的研究已逐渐成为MEMS研究的一个热点,开展对微尺度、微结构及微功能器件的微流体机理研究,寻找合适的微...