声表面波器件论文

论文摘要为了研制高频（2.5GHz）大功率SAW滤波器所需的基底材料---“IDT/AlN/Diamond”多层膜结构,本文建立了“IDT/AlN”结构和“IDT/AlN/Di...

论文摘要随着信息化检测技术的发展,要求更高的传感器精度和性能。SAW传感检测技术是一项较新的传感技术。由于其灵敏度高、体积小而且便于半导体工艺相集成受到了广泛的研究。但是,目前...

论文摘要小体积、高功率的SAW器件由于在小面积上产生大量的热（高达几个KW/cm2）而容易导致其局部过热,影响SAW器件的稳定性和使用寿命,因而成为SAW器件必须解决的关键问题...

论文摘要随着高频通信技术的发展,声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高,高频应用系统的不断发展显著增大了高频声表面波器件的市场需求。由于传统的SAW材料声速低,通常低于400...

论文摘要金刚石膜化学气相沉积（CVD）技术发展日趋成熟,CVD方法得到的金刚石膜与天然金刚石膜性能相差无几,且制备成本相对较低,因此具有广阔的应用和商业前景。本文以CVD方法制...