深反应离子刻蚀论文

论文摘要本论文在对传统栅电容结构的惯性传感器进行研究的基础上,提出了一种新型的梳状栅电容结构,并对基于此结构的加速度计和陀螺进行了研究。具体工作包括:加速度计和陀螺器件的结构设...