三维轮廓论文

基于相移干涉法的三维表面微观轮廓测量技术的研究
论文摘要相移干涉术(PSI)作为一种光电型干涉测试技术,具有结构简单、调制方便、实时快速、高精度以及全场自动测量等优点,并且己经广泛应用于光学零件、光学系统、精密表面的检测以及...