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三束等离子体极紫外光源论文

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  • 毛细管放电的X光激光若干特性及极紫外光刻光源研究

    毛细管放电的X光激光若干特性及极紫外光刻光源研究

    论文摘要极紫外光的波长越短,与软X射线的谱区重叠越多。在波长重叠的区域内,由于光束相干性的缘故,同样波长的辐射有时称为极紫外光,有时称为软X射线激光,这可能源于人们的习惯。无论...
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