蠕变分析论文

论文摘要在分析了薄膜结合强度的定义及其目前评估方法的基础上,提出了用激光热应力法评估薄膜蠕变性能的方法。其原理是用激光加载到试样的薄膜表面,薄膜与基体在热载荷作用下,产生热应力...